Χαρακτηριστικά προϊόντος
Υποστήριξη πολλαπλών εκδόσεων (PLC/PC) και διαφόρων mainstream πρωτοκόλλων επικοινωνίας.
Σχεδιασμός και παραγωγή σύμφωνα με το πρότυπο παραγωγής ασφάλειας SEMI.
Υψηλή χωρητικότητα σχεδιασμού καναλιών, UPH400~550pcs.
Κατάλληλο για πολλαπλές διαστάσεις προϊόντων και περιοδικών.
Σχεδιασμός με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας σε επίπεδο πλακέτας MFC, που εμποδίζει τη διαρροή αερίου να προκαλέσει ατυχήματα ασφαλείας (υποστηρίζοντας αέρια υψηλού- κινδύνου όπως το υδρογόνο).
Πατενταρισμένος σχεδιασμός θαλάμου υψηλής στεγανοποίησης, έως 5pa.
Γωνία επαφής με το νερό<10° (related to the material of product surface);
Σχεδιασμός τεσσάρων καναλιών για ταυτόχρονη επεξεργασία 4 προϊόντων, με ηλεκτρόδια διπλού πυθμένα, μειώνοντας τον χρόνο εισόδου και εξόδου από την πλακέτα, βελτιώνοντας σημαντικά την απόδοση και διασφαλίζοντας την ομοιομορφία του προϊόντος στην επεξεργασία.
τεχνικές προδιαγραφές
|
Λειτουργική διαμόρφωση |
Τεχνικές Παράμετροι |
|
|
Μ×Π×Υ(χιλ) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Εξοπλισμός |
Καθαρό βάρος (kg) |
1000 |
|
Περιφερική απόσταση (mm) |
600 στο πίσω μέρος, 600 και στις δύο πλευρές |
|
|
Θάλαμος |
Τόμος (L) |
Περίπου 9 |
|
Κανάλι (αρ.) |
4 |
|
|
Κάτω ηλεκτρόδιο (τεμ.) |
2 (συνάρτηση μετάβασης) |
|
|
Λειτουργία τροφοδοσίας |
Περιοδικό |
|
|
Προσαρμοστική διάσταση προϊόντος (mm) |
Πλάτος:40-100 Μήκος:150-300 |
|
|
Ηλεκτρόδιο |
Διάσταση ηλεκτροδίου (mm) |
528×300 |
|
Τροφοδοτικό RF |
Τυπική ισχύς (kW) |
1 |
|
Συχνότητα (MHZ) |
13.56 |
|
|
Έλεγχος αερίου |
Έως τρία κανάλια |
2 κανάλια (στάνταρ), 3 κανάλια (προαιρετικά) |
|
Σύστημα ελέγχου |
Διεπαφή ανθρώπου-μηχανής |
Η/Υ + οθόνη αφής |
|
Απομακρυσμένη διεπαφή |
Ανακοίνωση |
Προαιρετικός |
|
Αντλία κενού |
Προαιρετική ξηρή αντλία |
17CFM |
|
Προαιρετική αντλία λαδιού |
195 CFM |
|
|
Προαιρετική αντλία στεγνώματος με λειτουργία καθαρισμού |
ΝΑΙ |
|
|
Ρυθμός ροής καθαρισμού αζώτου (SLM) |
2 |
|
|
Χρόνος σκούπας (S) |
10月15日 |
|
|
Χρόνος θραύσης υπό κενό (S) |
3-4 |
|
|
Εγκαταστάσεις εργοστασίου |
Τροφοδοτικό |
Τριφασική-380V50/60Hz 4,5kW (αντλία λαδιού) |
|
Διάσταση & είδος διαδικασίας |
1/4 ίντσας Swagelok |
|
|
Καθαρότητα αερίου διεργασίας |
Βιομηχανική ποιότητα και άνω |
|
|
Πίεση αερίου διεργασίας (psig) |
10-20 |
|
|
Διάσταση & τύπος αγωγού καθαρισμού αερίου |
1/4 ίντσας Swagelok |
|
|
Καθαρότητα αερίου καθαρισμού |
Βιομηχανική ποιότητα και άνω |
|
|
Πίεση αερίου καθαρισμού (psig) |
15 |
|
|
Διάσταση & τύπος πνευματικού |
10mm ώθηση-στην τοποθέτηση |
|
|
Καθαρότητα πνευματικού αερίου |
Πεπιεσμένος αέρας,-χωρίς λάδι, σημείο δρόσου Μικρότερο από ή ίσο με 7 μοίρες, σωματίδια<5 |
|
|
Πίεση πνευματικού αερίου (psig) |
70-90 |
|
|
Πεπιεσμένος αέρας (mm) |
∅8 |
|
|
Συμμόρφωση |
Πιστοποίηση |
ΗΜΙ |
|
Βοηθητικός εξοπλισμός |
Γεννήτρια αζώτου (προαιρετικά) |
Προαιρετικό για καθαρισμό αζώτου |
|
Ψύκτη νερού (προαιρετικό) |
Προαιρετικό για ψύξη ηλεκτροδίων |
|
|
Κιτ υδρογόνου (προαιρετικό) |
Προαιρετικό για επεξεργασία με υδρογόνο |
|
|
Επεξεργαστής καυσαερίων (προαιρετικό) |
Προαιρετικό για επεξεργασία καυσαερίων με φθόριο |
|
|
Μεταφορά |
Συνολικό βάρος (kg) |
1050 |
|
Αριθμός πακέτων |
1 |
|
|
Συσκευασία σύμφωνα με το πρότυπο SPM15 |
ΝΑΙ |
|
Δημοφιλείς Ετικέτες: Αυτόματο σύστημα επεξεργασίας πλάσματος κενού VP-10S, αυτόματο σύστημα επεξεργασίας πλάσματος κενού VP-10S